Theo Quyết định, vị trí, ranh giới Khu công nghiệp Thạch Thất - Quốc Oai phía Tây Bắc giáp đường dân sinh, nghĩa trang làng Bùng và đất dịch vụ xã Phùng Xá; phía Đông giáp kênh và đường trục chính Bắc - Nam Khu đo thị Quốc Oai; phía Bắc giáp ranh giới đường gom và hành lang giao thông đại lộ Thăng Long; phía Tây Nam giáp tỉnh lộ 419 và một số hộ dân. Tổng diện tích đất khoảng 29,17ha.
Các lô đất đề xuất điều chỉnh cục bộ quy hoạch (trong phạm vi Quy hoạch chi tiết tỷ lệ 1/2000 Khu công nghiệp Thạch Thất - Quốc Oai): gồm các lô đất kí hiệu KT2, CX5, CX6, CN11 và một phần diện tích lô đất ký hiệu CN7. Tổng diện tích đất khoảng 29,17ha theo Quy hoạch chi tiết Khu Công nghiệp được phê duyệt năm 2007.
Việc điều chỉnh chức năng sử dụng đất tại một số lô đất trong Khu công nghiệp đảm bảo phù hợp định hướng Quy hoạch chung xây-dựng Thủ đô Hà Nội đến năm 2030 tầm nhìn đến năm 2050 và Quy hoạch chung Thị trấn sinh thái Quốc Oai tỷ lệ 1/5.000 được cấp thẩm quyền phê duyệt, phù hợp với tình hình, điều kiện thực tiên tại khu vực. Phát triển khu công nghiệp theo hướng công nghiệp sinh thái, công nghiệp sạch, công nghệ cao... nhằm tạo ra các sản phẩm có chất lượng và giá trị cao, đầu tư có hiệu quả.
Tạo điều kiện thuận lợi cho môi trường đầu tư nhằm phát triển sản xuất, kinh tể-xã hội và tăng trưởng kinh tế địa phương nói riêng và Thủ đô Hà Nội nói chung. Đảm bảo các điều kiện khớp nối về hạ tầng kỹ thuật, giao thông và yêu cầu an toàn, PCCC, vệ sinh môi trường... trong Khu công nghiệp theo Quy hoạch chi tiết 1/2000 đã được phê duyệt và Quy chuẩn, Tiêu chuẩn xây dựng Việt Nam.
